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第五代SFJ-231型氦质谱检漏仪


SFJ-231型氦质谱检漏仪


性能特点


  • 德国原装分子泵,双铱带离子源
  • 独特的气路设计,较低的颗粒物干扰
  • 自保护功能,防止本底被污染
  • 自动抽空压力和时间设定,检漏效率高
  • 带故障提示和报警功能
  • 可选无线遥控功能

主要技术指标

 

最小可检漏率(真空模式)

Minimum detectable leak

rate for He (vacuum leak)

5×10-13 Pa·m3/s

 

最小可检漏率(吸枪模式)

Minimum detectable leak

rate for He (sniffing leak)

1×10-8 Pa ·m 3 /s

检漏口压力

Inlet test pressure

Gross:1500Pa,Ultra:40pa

检漏口规格

Inlet port

DN 25 ISO-KF

启动时间

Warm-up time (20°C)

≤2min

接口

Interface

RS-232/485 USBx2

输入/输出接口

I/O interfaces

Digital and Analog I/O,Relays

尺寸

Dimensions

645 x 678 x 965 mm

重量

Weight

75kg

电压

Universal voltage

220V±10%, 50 /60 Hz

最大功率

Maximum power

1000 W

语言

Selectable languages

Chinese,English

温度

Operating temperature

10– 40 °C



SFJ-231D型半导体专用氦质谱检漏仪


性能特点

  • 德国原装分子泵,干式真空泵,双铱带离子源
  • 独特的气路设计,较低的颗粒物干扰
  • 自保护功能,防止本底被污染
  • 自动抽空压力和时间设定,检漏效率高
  • 移动式推车,较低的移动噪音
  • 带故障提示和报警功能
  • 可选无线遥控功能

 


主要技术指标

 

最小可检漏率(真空模式)

Minimum detectable leak

rate for He (vacuum leak)

5×10-13 Pa·m3/s

 

最小可检漏率(吸枪模式)

Minimum detectable leak

rate for He (sniffing leak)

1×10-8 Pa ·m 3 /s

检漏口压力

Inlet test pressure

Gross:1500Pa;Fine:200Pa;Ultra:40pa

粗抽能力

Roughing capacity

10 m 3 /h

检漏口规格

Inlet port

DN 25 ISO-KF

启动时间

Warm-up time (20°C)

≤2min

接口

Interface

RS-232/485 USBx2

输入/输出接口

I/O interfaces

Digital and Analog I/O,Relays

尺寸

Dimensions

645 x 678 x 965 mm

重量

Weight

75kg

电压

Universal voltage

220V±10%, 50Hz

最大功率

Maximum power

1000 W

语言

Selectable languages

Chinese,English

温度

Operating temperature

10– 40 °C